引言
1 铌酸锂电光调制器的工作原理
1.1 电光效应
1.2 铌酸锂电光调制器工作原理
1.3 铌酸锂电光调制器关键性能参数
2 典型薄膜铌酸锂波导结构及其制备工艺
2.1 直接刻蚀型波导
2.2 加载型混合波导
2.3 混合硅集成型波导
3 薄膜铌酸锂电光调制器的研究进展
3.1 直接刻蚀型波导调制器
3.2 加载型混合波导调制器
3.3 混合硅集成型波导调制器
4 总结与展望
文章摘要:从铌酸锂电光调制器的工作原理出发,介绍了不同种类的薄膜铌酸锂波导技术和近年来部分具有代表性的薄膜铌酸锂电光调制器研究进展,并对未来发展所面临的挑战和前景进行了展望。
文章关键词:
论文DOI:10.19453/j.cnki.1005-488x.2021.03.001
论文分类号:TN761
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